內(nèi)部量子效率作為光電轉(zhuǎn)換的核心判據(jù)，既是連接基礎(chǔ)物理與工程實(shí)踐的橋梁，也是推動(dòng)新能源技術(shù)迭代的關(guān)鍵參數(shù)。其獨(dú)特的作用機(jī)制和多維度優(yōu)勢(shì)，使其在半導(dǎo)體領(lǐng)域占據(jù)不可替代的地位。
 

　　內(nèi)部量子效率優(yōu)點(diǎn)：
 

　　1.準(zhǔn)確評(píng)估材料性能：由于剔除了器件結(jié)構(gòu)引起的光學(xué)損耗，IQE成為表征材料本征質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)。通過比較不同批次或新型結(jié)構(gòu)的IQE曲線，研究者可快速定位工藝缺陷。
 

　　2.指導(dǎo)器件優(yōu)化方向：高IQE意味著更少的非輻射復(fù)合中心和更低的缺陷態(tài)密度。這促使工程師針對(duì)性地改進(jìn)摻雜濃度、界面鈍化或能帶匹配方案，從而突破效率瓶頸。
 

　　3.標(biāo)準(zhǔn)化研究基準(zhǔn)：在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，IQE測(cè)試不受光源角度、窗口層厚度等因素干擾，為跨團(tuán)隊(duì)的技術(shù)對(duì)比提供了統(tǒng)一平臺(tái)。這種標(biāo)準(zhǔn)化特性加速了新材料體系的開發(fā)進(jìn)程。
 

　　內(nèi)部量子效率(IQE)的測(cè)定步驟：
 

　　1.樣品準(zhǔn)備
 

　　-清潔處理：確保待測(cè)樣品表面干凈、無雜質(zhì)和污染物，因?yàn)檫@些可能會(huì)影響光的吸收和后續(xù)的信號(hào)檢測(cè)?？梢允褂眠m當(dāng)?shù)娜軇┗蚯逑捶椒▽?duì)樣品進(jìn)行清潔，但要注意避免損壞樣品。
 

　　-尺寸適配：根據(jù)測(cè)試設(shè)備的要求，將樣品切割或制備成合適的尺寸和形狀，以保證能夠正確地安裝在測(cè)試裝置中，并且與光源、探測(cè)器等部件有良好的接觸。
 

　　2.搭建測(cè)試系統(tǒng)
 

　　-選擇合適光源：需要一個(gè)能夠提供穩(wěn)定、單色性好且強(qiáng)度可調(diào)的光光源。通常使用氙燈、鹵素?zé)舻扰浜蠁紊珒x來獲得特定波長(zhǎng)的光，以滿足不同材料的激發(fā)需求。光源的穩(wěn)定性至關(guān)重要，因?yàn)楣鈴?qiáng)的波動(dòng)會(huì)直接影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
 

　　-配置探測(cè)器：選用高靈敏度、低噪聲的光電探測(cè)器來收集樣品產(chǎn)生的電信號(hào)。探測(cè)器的類型應(yīng)根據(jù)樣品的特性和預(yù)期的信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行選擇，如硅光電二極管、雪崩光電二極管等。同時(shí)，要確保探測(cè)器與樣品之間的距離和角度合適，以便接收到樣品發(fā)出的光信號(hào)。
 

　　-連接電路：將樣品連接到外部電路中，形成完整的回路，以便測(cè)量通過樣品的電流或電壓變化。電路應(yīng)具有良好的屏蔽性能，減少外界電磁干擾對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

 

　　3.校準(zhǔn)儀器
 

　　-標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)：使用已知內(nèi)部量子效率的標(biāo)準(zhǔn)樣品對(duì)整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)。將標(biāo)準(zhǔn)樣品放入測(cè)試位置，按照預(yù)定的程序進(jìn)行測(cè)量，得到其響應(yīng)值，并與標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而確定系統(tǒng)的修正因子或校準(zhǔn)曲線。這樣可以消除儀器設(shè)備本身的誤差，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。
 

　　-探測(cè)器響應(yīng)校準(zhǔn)：在不同波長(zhǎng)下對(duì)探測(cè)器的響應(yīng)進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保其在各個(gè)波長(zhǎng)處的靈敏度一致。可以通過使用標(biāo)準(zhǔn)光源和濾光片組合的方式，產(chǎn)生一系列已知強(qiáng)度的不同波長(zhǎng)的光，照射到探測(cè)器上，記錄其輸出信號(hào)，繪制出探測(cè)器的響應(yīng)光譜曲線。
 

　　4.測(cè)量過程
 

　　-設(shè)置參數(shù)：根據(jù)樣品的性質(zhì)和測(cè)試要求，設(shè)置合適的光照條件，包括光的波長(zhǎng)、強(qiáng)度、照射時(shí)間等參數(shù)。對(duì)于一些具有特殊性質(zhì)的材料，可能還需要考慮偏置電壓、溫度等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
 

　　-數(shù)據(jù)采集：開啟光源，使光照射到樣品上，同時(shí)啟動(dòng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，記錄樣品在不同光照條件下產(chǎn)生的電信號(hào)變化。為了提高數(shù)據(jù)的可靠性，通常會(huì)進(jìn)行多次測(cè)量，并取平均值作為結(jié)果。
 

　　-改變條件重復(fù)測(cè)量：為了了解樣品的內(nèi)部量子效率特性，可以在不同的光照強(qiáng)度、波長(zhǎng)等條件下重復(fù)進(jìn)行測(cè)量，得到一組數(shù)據(jù)點(diǎn)，然后通過數(shù)據(jù)分析得出內(nèi)部量子效率隨這些因素變化的規(guī)律。